特許

J-GLOBAL ID：201703003941917655

電子デバイス製造装置

発明者： 杉本 郁男
出願人/特許権者： 株式会社小森コーポレーション
代理人 (5件)： 光石 俊郎 ,  光石 春平 ,  田中 康幸 ,  松元 洋 ,  山田 哲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-078609
公開番号（公開出願番号）：特開2017-191801
出願日： 2016年04月11日
公開日（公表日）： 2017年10月19日
要約：

【課題】TFT等を印刷で製造する際に必要となる各工程において、都度位置合わせ等の調整を行う必要がなく、少ない製造工数且つ高精度でTFT等の電子デバイスを製造することができる電子デバイス製造装置を提供する。【解決手段】シートに機能性インキを印刷する版胴130が周囲に配置されている圧胴110と、シートを保持して搬送する検査胴120B、検査胴120Bで搬送されているシートの胴に対する曲がり量を検知する曲がり量検知手段301,及び曲がり量補正手段を具備し検査胴120Bから受け取ったシートを圧胴110へ渡す渡胴120Aと、曲がり量検知手段301によって取得したシートの曲がり量に基づいて曲がり量補正手段を制御する制御装置とを備える構成とした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可撓性を有する基材に機能性を有する材料を積層して機能層を形成することにより電子デバイスを製造する電子デバイス製造装置であって、 基材を保持して搬送し搬送されている基材に機能性を有する材料からなる機能性インキを印刷する印刷装置が周囲に配置されている圧胴と、 基材を保持して搬送する検査胴、前記検査胴で搬送されている基材の胴に対する曲がり量を検知する曲がり量検知手段、及び、曲がり量補正手段を具備し前記検査胴及び前記圧胴の間に配設されている渡胴を有する基材供給手段と、 前記曲がり量検知手段によって取得した基材の曲がり量に基づいて前記曲がり量補正手段を制御する制御手段と を備えたことを特徴とする電子デバイス製造装置。

IPC (7件)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  B41F 33/06 ,  B41F 33/08 ,  B41F 33/14 ,  B41F 13/28 ,  B41J 2/01

FI (6件)：

H01L29/78 627Z ,  B41F33/06 S ,  B41F33/08 S ,  B41F33/14 K ,  B41F13/28 ,  B41J2/01 101

Fターム (21件)：

2C034AE01 ,  2C056EA07 ,  2C056EB13 ,  2C056EB36 ,  2C056EC12 ,  2C056EC35 ,  2C056EC77 ,  2C056FA14 ,  2C056FD13 ,  2C056HA07 ,  2C056HA28 ,  2C056HA29 ,  2C056HA44 ,  2C250EA37 ,  2C250EA42 ,  2C250EB26 ,  5F110AA16 ,  5F110EE42 ,  5F110FF27 ,  5F110HK32 ,  5F110QQ06