特許

J-GLOBAL ID：201703003993111535

工作機械のレベリングマウント調整方法およびそれを用いたワークの研削加工方法

発明者： 西村 好信
出願人/特許権者： 株式会社SUMCO
代理人 (3件)： 杉村 憲司 ,  川原 敬祐 ,  福井 敏夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-080242
公開番号（公開出願番号）：特開2017-189838
出願日： 2016年04月13日
公開日（公表日）： 2017年10月19日
要約：

【課題】工作機械の加工精度を改善することのできるレベリングマウント調整方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明による複数のレベリングマウントを介して水平支持される工作機械のレベリングマウント調整方法は、前記複数のレベリングマウントに加速度センサを取り付け、インパルスハンマを用いて前記複数のレベリングマウントをそれぞれ加振するハンマリングを行い、前記加速度センサから応答加速度信号を測定する第1工程と、前記第1工程により得られた前記応答加速度信号から、前記複数のレベリングマウントの参照値をそれぞれ求める第2工程と、前記第2工程によりそれぞれ求めた前記参照値の比に基づき、前記複数のレベリングマウントの調整ボルトの少なくともいずれかを締込む、または、緩めることにより前記複数のレベリングマウントを調整する第3工程と、を含むことを特徴とする。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

調整ボルトの締込により調整する、床面に載置された複数のレベリングマウントと、前記複数のレベリングマウントを介して水平支持されるベッドと、該ベッド上方に位置し、水平方向を回転軸とする加工用スピンドルと、を備える切削加工または研削加工用の工作機械のレベリングマウント調整方法であって、 前記複数のレベリングマウントに加速度センサを取り付け、インパルスハンマを用いて前記複数のレベリングマウントをそれぞれ加振するハンマリングを行い、前記加速度センサから応答加速度信号を測定する第1工程と、 前記第1工程により得られた前記応答加速度信号から、前記複数のレベリングマウントの参照値をそれぞれ求める第2工程と、 前記第2工程によりそれぞれ求めた前記参照値の比に基づき、前記複数のレベリングマウントの前記調整ボルトの少なくともいずれかを締込む、または、緩めることにより前記複数のレベリングマウントを調整する第3工程と、を含むことを特徴とするレベリングマウント調整方法。

IPC (4件)：

B23Q 1/00 ,  B24B 7/17 ,  B24B 47/26 ,  H01L 21/304

FI (5件)：

B23Q1/00 T ,  B24B7/17 Z ,  B24B47/26 ,  H01L21/304 631 ,  H01L21/304 622R

Fターム (22件)：

3C034AA08 ,  3C034CA24 ,  3C034CB20 ,  3C034DD10 ,  3C043BA09 ,  3C043BA14 ,  3C043CC04 ,  3C043CC11 ,  3C043DD02 ,  3C043EE01 ,  3C048AA03 ,  5F057AA02 ,  5F057AA31 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057CA19 ,  5F057DA11 ,  5F057FA24 ,  5F057GA11 ,  5F057GB03 ,  5F057GB23 ,  5F057GB31