特許

J-GLOBAL ID：201703003997824064

リーク検査方法

発明者： 福田 弘樹
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-022335
公開番号（公開出願番号）：特開2017-142096
出願日： 2016年02月09日
公開日（公表日）： 2017年08月17日
要約：

【課題】ヘリウムガスの回収率を低下させずに、リーク検査の精度を向上させること。【解決手段】本発明のリーク検査方法は、チャンバー15内に検査対象部材30を配置し、検査対象部材30の内部にガスを充填し、チャンバー15内へのガスのリーク量を測定するリーク検査方法であって、リークマスター13のリーク量を測定し、リークマスター13のリーク量に基づいてガスの濃度を算出し、測定したガスの濃度に基づいて検査対象部材30のリーク量を補正する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

チャンバー内に検査対象部材を配置し、 検査対象部材の内部にガスを充填し、 チャンバー内への前記ガスのリーク量を測定するリーク検査方法であって、 リークマスターのリーク量を測定し、 リークマスターのリーク量に基づいて前記ガスの濃度を算出し、 測定した前記ガスの濃度に基づいて検査対象部材のリーク量を補正するリーク検査方法。

IPC (2件)：

G01M 3/20 ,  G01M 3/02

FI (2件)：

G01M3/20 E ,  G01M3/02 A

Fターム (9件)：

2G067AA44 ,  2G067BB03 ,  2G067BB21 ,  2G067BB36 ,  2G067CC13 ,  2G067DD04 ,  2G067DD17 ,  2G067EE09 ,  2G067EE14