特許
J-GLOBAL ID：201703004374799723
真空バルブの真空度監視方法及び真空バルブの真空度監視装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
恩田 誠
, 恩田 博宣
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-141661
公開番号（公開出願番号）：特開2015-015172
特許番号：特許第6119985号
出願日： 2013年07月05日
公開日（公表日）： 2015年01月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空バルブに対する印加電圧に応じて内部放電が生じた際、放電開始電圧と真空度との相関を有するパッシェン曲線に基づいた判定線を用いて前記真空バルブの真空度を推定する真空バルブの真空度監視方法であって、
前記真空バルブの内部放電に伴って生じる電磁波の周波数分析を行いその周波数分布様相を加味することで、前記パッシェン曲線に基づく判定線上で前記真空バルブに対する印加電圧にて2つの真空度の推定値を取り得る場合の一方側を選択可能としたことを特徴とする真空バルブの真空度監視方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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