特許
J-GLOBAL ID：201703004398965730
液滴吐出ヘッドの製造方法
出願人/特許権者：
キヤノン株式会社
キヤノン株式会社 について
代理人 (2件)： 宮崎 昭夫 , 緒方 雅昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-208131
公開番号（公開出願番号）：特開2014-061652
特許番号：特許第6112809号
出願日： 2012年09月21日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液体を吐出するためのエネルギー発生素子及び配線を備える基板を準備する工程と、
前記基板上にネガ型の感光性樹脂を含む流路壁形成層を形成する工程と、
前記流路壁形成層の流路壁となる部分を露光する工程と、
前記流路壁形成層上にネガ型の感光性樹脂を含む吐出口形成層を形成する工程と、
前記吐出口形成層上に撥水層の材料を塗布する工程と、
前記塗布された撥水層の材料に含まれる溶媒を乾燥して撥水層を形成する工程と、
前記吐出口形成層及び前記撥水層の吐出口となる部分以外の領域を露光する工程と、
前記流路壁形成層、前記吐出口形成層及び前記撥水層の各未露光部分を溶解除去する工程と、
を含む液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記撥水層の材料に含まれる溶媒の沸点が、前記乾燥により撥水層を形成する工程における乾燥温度以下であり、
前記吐出口形成層に含まれる感光性樹脂と、前記撥水層の材料に含まれる溶媒との溶解度パラメータ(SP値)の差の絶対値が3未満であることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
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特開平4-216952
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インクジェット記録ヘッドの製造方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願2007-024152 出願人：キヤノン株式会社 -
特開平4-211959
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