特許
J-GLOBAL ID：201703004427844149
基板処理装置および基板処理列制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
杉谷 勉
, 戸高 弘幸
, 杉谷 知彦
, 栗原 要
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-006558
公開番号（公開出願番号）：特開2014-138120
特許番号：特許第6097569号
出願日： 2013年01月17日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板処理装置であって、
基板に一連の処理を行う複数の基板処理列と、
複数の基板処理列を制御する制御部と、
を備え、
前記基板処理列は、
複数の処理ユニットと、
処理ユニットに基板を搬送する主搬送機構と、
を有し、
前記制御部は、基板が搬送される処理ユニットの順番を規定する搬送順序情報と、運転させる基板処理列を選択するための選択情報とに基づいて、選択情報によって選択されている基板処理列を搬送順序情報どおりに運転させ、選択情報によって選択されていない基板処理列を停止させる基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
H01L 21/68 A
, H01L 21/02 Z
