特許
J-GLOBAL ID：201703004449755026
静電容量型センサ、音響センサ及びマイクロフォン
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-052538
公開番号（公開出願番号）：特開2014-179812
特許番号：特許第6127611号
出願日： 2013年03月14日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも上面で開口した空洞を有する基板と、
前記空洞の上面を覆うようにして前記基板の上方に形成された振動電極板と、
前記振動電極板の外周部に間隔をあけて配置されていて、前記振動電極板を静止部材に固定可能にする複数個のアンカーと、
前記振動電極板と対向するように配置された固定電極板とを備え、
前記基板の上面に垂直な方向から見たとき、隣り合うアンカー間に位置する振動電極板の外縁が、全長にわたって、前記振動電極板の中心から遠い側で隣り合うアンカーの縁に外接する接線よりも外側に位置している静電容量型センサにおいて、
前記振動電極板の前記アンカーに近い領域に1又は2以上の開口が設けられていることを特徴とする静電容量型センサ。
IPC (2件)：
H04R 19/04 ( 200 6.01)
, H01L 29/84 ( 200 6.01)
H04R 19/04
, H01L 29/84 Z
