特許
J-GLOBAL ID：201703004450989065

圧電デバイス

発明者：
有路 巧

有路 巧 について

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中武 裕允

中武 裕允 について

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高橋 岳寛

高橋 岳寛 について


出願人/特許権者：
日本電波工業株式会社

日本電波工業株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-253341
公開番号（公開出願番号）：特開2014-103505
特許番号：特許第6110112号
出願日： 2012年11月19日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 振動部を囲んだ枠部を有し、前記振動部に設けられた励振電極と電気的に接続された引出電極を前記枠部の表面に備える圧電振動片と、 前記圧電振動片の表面に前記枠部の領域で接合材を介して接合されるリッド部と、 前記圧電振動片の裏面に前記枠部の領域で接合材を介して接合され、前記引出電極と電気的に接続される外部電極を備えるベース部と、を備え、 前記引出電極を前記外部電極に接続するために、前記引出電極の前記枠部に設けた部分の一部が、前記接合材から外部に露出している構造の圧電デバイスにおいて、 前記励振電極及び前記引出電極は、不動態を形成可能な金属で形成された下地膜と、前記下地膜上にこの順に積層された第1金属膜及び第2金属膜とを有し、 前記下地膜はクロム膜でありその膜厚が1.0nm〜8.0nmに設定され、 前記第1金属膜はNiW膜又はNi膜である圧電デバイス。
IPC (2件)：
H03H 9/19 ( 200 6.01) ,  H03H 9/02 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H03H 9/19 F ,  H03H 9/19 C ,  H03H 9/02 A
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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