特許

J-GLOBAL ID：201703004468198367

サファイア板用研磨液組成物

発明者： 吉野 太基
出願人/特許権者： 花王株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-078969
公開番号（公開出願番号）：特開2017-190363
出願日： 2016年04月11日
公開日（公表日）： 2017年10月19日
要約：

【課題】高速研磨と厚みムラの低減の両立が行える、サファイア板用研磨液組成物、及びそれを用いたサファイア板の製造方法並びに被研磨サファイア板の研磨方法の提供。【解決手段】砥粒Aと、アルキルジメチルアミンオキサイドで表わされる両性界面活性剤B1、アルキルベタイン及びアルキルアミドプロピルベタインで表わされる両性界面活性剤B2、2-アルキル-N-カルボキシメチル-N-ヒドロキシエチルイミダゾリニウムベタインで表わされる両性界面活性剤B3から選ばれる少なくとも1種の両性界面活性剤Bと、水系媒体と、を含有するサファイア基板用研磨液組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

砥粒Aと、 下記式(1)で表わされる両性界面活性剤B1、下記式(2)で表わされる両性界面活性剤B2、及び下記式(3)で表わされる両性界面活性剤B3から選ばれる少なくとも1種の両性界面活性剤Bと、 水系媒体と、を含有するサファイア板用研磨液組成物。

IPC (4件)：

C09K 3/14 ,  C09G 1/02 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304

FI (8件)：

C09K3/14 550Z ,  C09K3/14 550D ,  C09G1/02 ,  B24B37/00 H ,  B24B37/00 K ,  H01L21/304 622D ,  H01L21/304 621D ,  H01L21/304 622W

Fターム (24件)：

3C158AA07 ,  3C158AC04 ,  3C158CA01 ,  3C158CB01 ,  3C158CB03 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158ED10 ,  3C158ED24 ,  3C158ED26 ,  5F057AA02 ,  5F057AA14 ,  5F057AA28 ,  5F057BA12 ,  5F057BB12 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA07 ,  5F057EA16 ,  5F057EA17 ,  5F057EA21 ,  5F057EA27 ,  5F057EA33