光シャッタ基板、プリンタヘッド

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-082433
公開番号（公開出願番号）：特開2017-191297
出願日： 2016年04月15日
公開日（公表日）： 2017年10月19日
要約：

【課題】UV光を照射する光シャッタ基板において、光透過経路の透過率を向上させる。【解決手段】光源からの光を遮断あるいは通過させる、機械的な光シャッタ機構と、該光シャッタ機構と電気的に接続するトランジスタとを備え、光シャッタ機構を通過した光が通る光透過経路を有する光シャッタ基板であって、光シャッタ機構のシャッタ体よりも下層に形成された絶縁膜(10)を含み、前記絶縁膜(10)は、透光性であって、光透過経路(LW)に該当する部分が除去されている【選択図】図3

請求項（抜粋）：

光源からの光を遮断あるいは通過させる、機械的な光シャッタ機構と、該光シャッタ機構と電気的に接続するトランジスタとを備え、光シャッタ機構を通過した光が通る光透過経路を有する光シャッタ基板であって、光シャッタ機構のシャッタ体よりも下層に形成された絶縁膜を含み、前記絶縁膜は、透光性であって、前記光透過経路に該当する部分が除去されていることを特徴とする光シャッタ基板。

IPC (6件)：

G02B 26/02 , B81B 3/00 , H01L 29/786 , H01L 21/823 , H01L 27/06 , H01L 27/08

FI (5件)：

G02B26/02 B , B81B3/00 , H01L29/78 618B , H01L27/06 102A , H01L27/08 331E

Fターム (73件)：

2H141MA04 , 2H141MB03 , 2H141MB04 , 2H141MB63 , 2H141MD03 , 2H141MD05 , 2H141MD31 , 2H141MD38 , 2H141MF14 , 2H141MG07 , 2H141MZ03 , 2H141MZ28 , 3C081AA13 , 3C081BA22 , 3C081BA27 , 3C081BA30 , 3C081BA33 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081CA13 , 3C081CA28 , 3C081CA29 , 3C081CA31 , 3C081DA06 , 3C081DA25 , 3C081DA26 , 3C081DA27 , 3C081DA29 , 3C081DA30 , 3C081DA31 , 3C081EA09 , 3C081EA14 , 5F048AC10 , 5F048BA14 , 5F048BA16 , 5F048BB09 , 5F048BB11 , 5F048BB12 , 5F048BF02 , 5F048BF07 , 5F048CB01 , 5F110BB01 , 5F110BB11 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110GG01 , 5F110GG43 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK21 , 5F110NN03 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN36 , 5F110NN45 , 5F110NN49 , 5F110NN52 , 5F110NN71 , 5F110QQ19

前のページに戻る