特許

J-GLOBAL ID：201703004565298368

処理プロセスを調整する方法

発明者： 廣瀬 潤 ,  網倉 紀彦 ,  実吉 梨沙子
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柏岡 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-047051
公開番号（公開出願番号）：特開2017-163025
出願日： 2016年03月10日
公開日（公表日）： 2017年09月14日
要約：

【課題】一のプロセスレシピを複数の異なるガス供給系で用いるための技術を提供する。【解決手段】基板処理装置A10で用いられるプロセスレシピを基板処理装置A10と異なる構成を備える基板処理装置B10に適用して被処理体を処理する場合に、処理プロセスを調整する方法であって、基板処理装置A10のガス供給系A1および基板処理装置B10のガス供給系B1に係る装置情報を用いて、プロセスレシピのガス処理工程の開始時から予め設定された時間だけ、または、ガス処理工程の開始前の予め設定された時間だけ、ガス供給系B1におけるガスの流量を増減し、処理プロセスを調整する工程を備える。該工程は、プロセスレシピを用いた基板処理装置B10の処理プロセスを、プロセスレシピを用いた基板処理装置A10の処理プロセスに適合させる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1の処理装置で用いられるプロセスレシピを該第1の処理装置と異なる構成を備える第2の処理装置に適用して被処理体を処理する場合に、処理プロセスを調整する方法であって、 前記第1の処理装置は、 前記被処理体が処理される第1の処理容器と、 第1のガス供給系と、 を備え、 前記第1のガス供給系は、第1の主管路と第1の幹管路と複数の第1の枝管路と複数の第1の流量制御器と複数の第1のガス源とを備え、 前記第1の主管路の一端は、前記第1の処理容器に接続され、 前記第1の主管路の他端は、前記第1の幹管路の一端に接続され、 前記複数の第1の枝管路のそれぞれの一端は、前記第1の幹管路に接続され、 前記複数の第1の枝管路のそれぞれの他端は、前記複数の第1のガス源のそれぞれに接続され、 前記複数の第1の流量制御器のそれぞれは、前記複数の第1の枝管路のそれぞれに対して設置されており、該複数の第1の枝管路のそれぞれを流れるガスの流量を制御し、 前記複数の第1の枝管路は、第1の管番号が割り当てられており、 前記第1の管番号は、第1番から第M番までの番号であって、Mは、前記複数の第1の枝管路の総数を表す1より大きな自然数であり、 第1番〜第M番の前記第1の枝管路は、前記第1の管番号の順に、前記第1の主管路に近い側から前記第1の幹管路に接続されており、 第1番〜第M番の前記第1の枝管路のそれぞれから前記第1の幹管路を流れるガスの設定流量の値は、互いに異なっており、 前記第2の処理装置は、 前記被処理体が処理される第2の処理容器と、 第2のガス供給系と、 を備え、 前記第2のガス供給系は、第2の主管路と第2の幹管路と複数の第2の枝管路と複数の第2の流量制御器と複数の第2のガス源とを備え、 前記第2の主管路の一端は、前記第2の処理容器に接続され、 前記第2の主管路の他端は、前記第2の幹管路の一端に接続され、 前記複数の第2の枝管路のそれぞれの一端は、前記第2の幹管路に接続され、 前記複数の第2の枝管路のそれぞれの他端は、前記複数の第2のガス源のそれぞれに接続され、 前記複数の第2の流量制御器のそれぞれは、前記複数の第2の枝管路のそれぞれに対して設置されており、該複数の第2の枝管路のそれぞれを流れるガスの流量を制御し、 前記複数の第2の枝管路は、第2の管番号が割り当てられており、 前記第2の管番号は、第1番から第N番までの番号であって、Nは、前記複数の第2の枝管路の総数を表す1より大きな自然数であり、 第1番〜第N番の前記第2の枝管路は、前記第2の管番号の順に、前記第2の主管路に近い側から前記第2の幹管路に接続されており、 第1番〜第N番の前記第2の枝管路のそれぞれから前記第2の幹管路を流れるガスの設定流量の値は、互いに異なっており、 該方法は、 前記第1のガス供給系および前記第2のガス供給系に係る装置情報を用いて、前記プロセスレシピのガス処理工程の開始時から予め設定された時間だけ、または、該ガス処理工程の開始前の予め設定された時間だけ、前記第2のガス供給系におけるガスの流量を増減し、前記処理プロセスを調整する工程を備え、 前記調整する工程は、前記プロセスレシピを用いた前記第2の処理装置の処理プロセスを、該プロセスレシピを用いた前記第1の処理装置の処理プロセスに適合させる、 方法。

IPC (4件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/52

FI (4件)：

H01L21/302 101G ,  H01L21/205 ,  H01L21/31 Z ,  C23C16/52

Fターム (10件)：

4K030EA03 ,  4K030HA15 ,  4K030JA05 ,  4K030KA41 ,  5F004AA16 ,  5F004BC03 ,  5F004CA02 ,  5F045EB11 ,  5F045EE17 ,  5F045GB15