レーザ加工用ガラス及びそれを用いた孔付きガラスの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鎌田耕一 , 田村康晃
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016000571
公開番号（公開出願番号）：WO2016-129255
出願日： 2016年02月03日
公開日（公表日）： 2016年08月18日
要約：

本発明は、紫外線レーザ照射による変質部形成とエッチングとを組合せた微細孔一括加工技術において、円形の輪郭と平滑な内壁を有する孔を作製可能にし、実用的な連続生産が可能なガラス組成を提供する。本発明は、ガラスの組成が、モル%で表示して、45.0%≦SiO2≦70.0%、2.0%≦B2O3≦20.0%、3.0%≦Al2O3≦20.0%、0.1%≦CuO≦2.0%、0%≦TiO2≦15.0%、及び0%≦ZnO≦9.0%を含み、かつ、0≦Li2O+Na2O+K2O<2.0%であるレーザ加工用ガラスに関する。

請求項（抜粋）：

ガラスの組成が、モル%で表示して、 45.0%≦SiO2≦70.0%、 2.0%≦B2O3≦20.0%、 3.0%≦Al2O3≦20.0%、 0.1%≦CuO≦2.0%、 0%≦TiO2≦15.0%、及び 0%≦ZnO≦9.0%、を含み、かつ 0≦Li2O+Na2O+K2O<2.0% であるレーザ加工用ガラス。

IPC (7件)：

C03C 3/091 , C03C 3/093 , C03C 3/095 , C03B 33/02 , C03C 15/00 , C03C 23/00 , B23K 26/53

FI (7件)：

C03C3/091 , C03C3/093 , C03C3/095 , C03B33/02 , C03C15/00 Z , C03C23/00 D , B23K26/53

Fターム (96件)：

4E168AE01 , 4E168CB04 , 4E168DA03 , 4E168DA04 , 4E168DA06 , 4E168DA24 , 4E168DA32 , 4E168DA37 , 4E168DA45 , 4E168EA15 , 4E168JA14 , 4G015FA09 , 4G015FB01 , 4G059AA08 , 4G059AB05 , 4G059AB11 , 4G059AC30 , 4G059BB04 , 4G059BB12 , 4G059BB14 , 4G062AA01 , 4G062BB01 , 4G062BB05 , 4G062CC10 , 4G062DA05 , 4G062DA06 , 4G062DB03 , 4G062DB04 , 4G062DC03 , 4G062DC04 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DE02 , 4G062DE03 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA02 , 4G062EA03 , 4G062EB01 , 4G062EB02 , 4G062EB03 , 4G062EC01 , 4G062EC02 , 4G062EC03 , 4G062ED01 , 4G062ED02 , 4G062ED03 , 4G062ED04 , 4G062EE01 , 4G062EE02 , 4G062EE03 , 4G062EE04 , 4G062EF01 , 4G062EF02 , 4G062EF03 , 4G062EF04 , 4G062EG01 , 4G062EG02 , 4G062EG03 , 4G062EG04 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FB02 , 4G062FB03 , 4G062FB04 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FF02 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062FL02 , 4G062GA01 , 4G062GA02 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH04 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH08 , 4G062HH09 , 4G062HH10 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17

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