特許
J-GLOBAL ID:201703004613828293

欠陥検査システム、フィルム製造装置及び欠陥検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  三上 敬史 ,  大野 新
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-110740
公開番号(公開出願番号):特開2017-215277
出願日: 2016年06月02日
公開日(公表日): 2017年12月07日
要約:
【課題】フィルムの欠陥の位置を容易に特定でき、かつ欠陥の種別をより容易に識別できる欠陥検査システム、フィルム製造装置及び欠陥検査方法を提供する。【解決手段】欠陥検査システムの解析装置6の欠陥位置特定部62によって、欠陥検査システムの画像処理部の変化量算出部、同一箇所判定抽出部、積算部及び画像生成部により処理された欠陥強調処理画像により、フィルムにおける欠陥の位置が特定され、解析装置6の欠陥種別識別部63によって、画像処理部のデータ抽出部及びデータ格納部により処理されたライン分割画像により、欠陥位置特定部62により位置を特定された欠陥の種別が識別される。ライン分割画像は、欠陥の種別を識別することが容易である。したがって、欠陥の位置を容易に特定でき、かつ欠陥の種別をより容易に識別できる。【選択図】図5
請求項(抜粋):
フィルムに光を照射する光源と、 前記光源から前記フィルムに照射されて前記フィルムを透過又は反射した前記光による2次元画像を離散時間ごとに撮像する撮像部と、 前記光源及び前記撮像部に対して前記フィルムを搬送方向に相対的に搬送する搬送部と、 前記撮像部により撮像された前記2次元画像の画像データを処理する画像処理部と、 前記画像処理部により処理された前記画像データを解析する解析部と、 を備え、 前記画像処理部は、 前記2次元画像を前記搬送方向に並列する複数のラインに分割し、前記撮像部により前記離散時間ごとに撮像された前記2次元画像のそれぞれにおける同じ位置の前記ラインを時系列順に並列させたライン分割画像の前記画像データに処理するライン分割処理部と、 前記ライン分割処理部により処理された前記ライン分割画像を輝度変化を強調した欠陥強調処理画像の前記画像データに処理する強調処理部と、 を有し、 前記解析部は、 前記強調処理部により処理された前記欠陥強調処理画像の前記画像データにより、前記フィルムにおける欠陥の位置を特定する欠陥位置特定部と、 前記ライン分割処理部により処理された前記ライン分割画像の前記画像データにより、前記欠陥位置特定部により前記位置を特定された前記欠陥の種別を識別する欠陥種別識別部と、 を有する、欠陥検査システム。
IPC (1件):
G01N 21/892
FI (1件):
G01N21/892 A
Fターム (25件):
2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA20 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CD01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA02 ,  2G051EA08 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA20 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051ED09 ,  2G051ED14 ,  2G051FA02
引用特許:
審査官引用 (2件)

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