特許

J-GLOBAL ID：201703004650936926

検査装置及び検査システム

発明者： 岡田 敬夫 ,  田中 隆 ,  竹下 洸資
出願人/特許権者： ボッシュパッケージングテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 大場 玲児
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2016052170
公開番号（公開出願番号）：WO2016-125633
出願日： 2016年01月26日
公開日（公表日）： 2016年08月11日
要約：

検査装置1は、明部T1と明部T1より暗い暗部T2を有する被検体Tを照明する照明部2と、照明部2によって照明された被検体Tからの物体光がそれぞれ異なる光路を通過する第1の光L1と第2の光L2に分割される光路分割部3と、光路分割部3を通過した第1の光L1の光量を低下させるフィルタ4と、フィルタ4を通過した第1の光L1が結像する第1撮像部5aと、光路分割部3を通過した第2の光L2が結像する第2撮像部5bと、第1撮像部5aで撮像した明部の情報と第2撮像部5bで撮像した暗部の情報から被検体の欠陥の有無を検査する検査部7と、を備える。

請求項（抜粋）：

明部と前記明部より暗い暗部を有する被検体を照明する照明部と、 前記照明部によって照明された前記被検体からの物体光がそれぞれ異なる光路を通過する第1の光と第2の光に分割される光路分割部と、 前記光路分割部を通過した前記第1の光の光量を低下させるフィルタと、 前記フィルタを通過した前記第1の光が結像する第1撮像部と、 前記光路分割部を通過した前記第2の光が結像する第2撮像部と、 前記第1撮像部で撮像した明部の情報と前記第2撮像部で撮像した暗部の情報から前記被検体の欠陥の有無を検査する検査部と、 を備える、 検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/88

FI (1件)：

G01N21/88 J

Fターム (8件)：

2G051AA18 ,  2G051AB02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC20 ,  2G051DA08 ,  2G051EA23