特許
J-GLOBAL ID：201703005055065225
波長可変干渉フィルター、波長可変干渉フィルターの製造方法、光学装置および光学部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
渡辺 和昭
, 西田 圭介
, 仲井 智至
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-219140
公開番号（公開出願番号）：特開2014-071400
特許番号：特許第6160055号
出願日： 2012年10月01日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1基板と、
前記第1基板に対向して配置され、前記第1基板を支持する支持部を有する第2基板と、
前記第1基板に設けられた第1光学膜と、
前記第1基板に設けられ、前記第1基板および前記第2基板の厚さ方向から見た平面視で前記第1光学膜の外側に設けられた第1駆動電極と、
前記第2基板に設けられ、前記第1光学膜と対向して配置される第2光学膜と、
前記第2基板に設けられ、前記平面視で前記第2光学膜と前記支持部との間に前記第1駆動電極と対向して配置される第2駆動電極と、
を備え、
前記第2基板は、前記支持部の外側に延設される外部接続電極を有し、前記外部接続電極が配設される電極形成面を備え、
前記電極形成面より突出する複数の突出部が、前記外部接続電極の延設方向と交差する方向に配列されて形成されていることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (2件)：
G02B 26/00 ( 200 6.01)
, G01J 3/26 ( 200 6.01)
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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