特許

J-GLOBAL ID：201703005274919353

吸着器

発明者： 新開 昇
出願人/特許権者： 株式会社フューテックジャパン
代理人 (2件)： 高木 裕 ,  熊谷 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-009007
公開番号（公開出願番号）：特開2017-127929
出願日： 2016年01月20日
公開日（公表日）： 2017年07月27日
要約：

【課題】対象物が紙、薄いフィルム、穴が開いている基板等であっても、これらを確実に吸着でき、かつ省エネルギー運転ができる吸着器を提供すること。【解決手段】各々独立したピストン4とシリンダーからなるポンプを複数組具備する。各シリンダーの一端側に外部に繋がる吸着用孔を形成する。各シリンダーの他端側にエアーホース6側から真空又は与圧を与えることで、ポンプのピストン4を駆動して各吸着用孔による対象物14の吸着及びリリースを行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

独立したピストン・シリンダー方式のポンプを複数具備し、 前記各シリンダーの一端側に外部に繋がる吸着用孔を形成し、 前記各シリンダーの他端側に加減圧手段によって真空又は与圧を与えることで、前記ポンプのピストンを駆動して前記各吸着用孔による対象物の吸着及びリリースを行うことを特徴とする吸着器。

IPC (2件)：

B25J 15/06 ,  H01L 21/50

FI (2件)：

B25J15/06 M ,  H01L21/50 C

Fターム (6件)：

3C707DS02 ,  3C707FS01 ,  3C707FT13 ,  3C707GU03 ,  3C707NS09 ,  3C707NS10