特許
J-GLOBAL ID：201703005343917759

顕微鏡装置および観察方法

発明者：
佐瀬 一郎

佐瀬 一郎 について

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浜田 啓作

浜田 啓作 について

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大西 秀太朗

大西 秀太朗 について

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松爲 久美子

松爲 久美子 について

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大嶋 佑介

大嶋 佑介 について

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今村 健志

今村 健志 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 西 和哉 ,  川村 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-180297
公開番号（公開出願番号）：特開2017-058386
出願日： 2015年09月14日
公開日（公表日）： 2017年03月23日
要約：
【課題】照明光の収差を低減できる顕微鏡装置を提供する。【解決手段】顕微鏡装置1は、標本Sに照明光を照射する照明光学系4と、照明光の波面を調整する波面調整部5と、標本の表面形状を検出する表面検出部8と、表面検出部の検出結果を使って、照明光の収差を算出する収差算出部9と、収差算出部の算出結果に基づいて、波面調整部を制御する制御部10と、波面調整部が制御された状態で標本からの光を検出する検出部6、7と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
標本に照明光を照射する照明光学系と、 前記照明光の波面を調整する波面調整部と、 前記標本の表面形状を検出する表面検出部と、 前記表面検出部の検出結果を使って、前記照明光の収差を算出する収差算出部と、 前記収差算出部の算出結果に基づいて、前記波面調整部を制御する制御部と、 前記波面調整部が制御された状態で前記標本からの光を検出する検出部と、を備える顕微鏡装置。
IPC (2件)：
G02B 21/00 ,  G02B 21/06
FI (2件)：
G02B21/00 ,  G02B21/06
Fターム (7件)：
2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AB01 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD20 ,  2H052AF02
引用特許：
出願人引用 (16件)
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審査官引用 (9件)
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