エンコーダ及び駆動装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：志賀正武 , 高橋詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-551797
特許番号：特許第6086070号
出願日： 2012年12月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】金属材料で構成された基材を有し、前記基材の第一面にはパターンが形成されると共に前記基材のうち前記第一面とは異なる第二面には不動態部が形成されたスケール部と、前記スケール部と相対的に移動して、前記パターンを検出する検出部とを備え、前記パターンは、前記第一面上に光反射層が形成され、前記光反射層上に光透過性の保護層が形成され、前記保護層上に光吸収層が形成された構成であるエンコーダ。

IPC (1件)：