磁気軸受装置および真空ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-021681
公開番号（公開出願番号）：特開2014-152829
特許番号：特許第6171375号
出願日： 2013年02月06日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被支持体を電磁石により非接触支持する磁気軸受装置であって、正弦波離散値をデジタル演算処理により生成する正弦波離散値生成部と、前記正弦波離散値に基づいて搬送波信号を生成する搬送波生成部と、前記被支持体の支持位置に応じて前記搬送波信号を変調して変調波信号を出力する変位検出部と、前記搬送波信号の周波数をfcとしたときに、fc=(n+1/2)・fs(ただし、nは0以上の整数)を満たすサンプリング周波数fsで、かつ、前記正弦波離散値と同期した所定タイミングで、電磁石電流に起因するノイズを含む前記変調波信号をデジタル信号にAD変換するAD変換部と、 AD変換後の前記デジタル信号に基づいて復調演算を行う復調演算部と、前記復調演算部の復調演算結果に基づいて前記電磁石の電流を制御し、前記被支持体の支持位置を制御する制御部と、を備え、前記所定タイミングは、サンプリングタイミングが前記搬送波信号の最大ピーク位置近傍となるタイミングおよび最小ピーク位置近傍となるタイミングであって、前記復調演算部は、前記最大ピーク位置近傍でサンプリングされた前記デジタル信号のデータ値をd1、前記最小ピーク位置近傍でサンプリングされた前記デジタル信号のデータ値をd2としたときに、d3=(d1-d2)/2により算出され、電磁石電流に起因するノイズが除去された値d3を前記復調演算結果として出力する、磁気軸受装置。

IPC (2件)：

F16C 32/04 ( 200 6.01) , F04D 19/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F16C 32/04 A , F04D 19/04 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

磁気軸受装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-282573 出願人：株式会社島津製作所
信号処理装置およびソナー装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-192269 出願人：古野電気株式会社
磁気浮上制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-232337 出願人：株式会社荏原製作所

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