特許
J-GLOBAL ID：201703005717698703

計測装置、インプリント装置、物品の製造方法、光量決定方法、及び、光量調整方法

発明者：
八重樫 憲司

八重樫 憲司 について

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岩井 俊樹

岩井 俊樹 について

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古巻 貴光

古巻 貴光 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-087314
公開番号（公開出願番号）：特開2017-199725
出願日： 2016年04月25日
公開日（公表日）： 2017年11月02日
要約：
【課題】 マーク間の相対位置を高精度に計測すること【解決手段】 アライメントマーク間の相対位置を計測する計測装置であって、複数の波長でアライメントマークを照明可能な照明部と、アライメントマークからの光を検出する検出部と、アライメントマーク間の相対位置を求める処理部と、複数のアライメントマークからの光の検出光量の相対値が所定の範囲内に収まるように複数の波長の光量の相対量を調整する調整部と、を有することを特徴とする計測装置。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
第1部材に設けられたアライメントマークと第2部材に設けられたアライメントマークとの相対位置を計測する計測装置であって、 第1波長の照明光と前記第1波長とは異なる第2波長の照明光とを含む光を射出することが可能であって、前記第1部材に設けられた第1アライメントマークと前記第2部材に設けられた第2アライメントマークとを照明し、前記第1部材に設けられ、前記第1アライメントマークとは異なる第3アライメントマークと、前記第2部材に設けられ、前記第2アライメントマークとは異なる第4アライメントマークとを照明する照明部と、 前記照明部によって照明された、前記第1アライメントマークと前記第2アライメントマークからの光、及び、前記第3アライメントマークと前記第4アライメントマークからの光、を検出する検出部と、 前記検出部によって検出された前記第1アライメントマークと前記第2アライメントマークからの光に基づいて前記第1アライメントマークと前記第2アライメントマークとの相対位置を求め、前記検出部によって検出された前記第3アライメントマークと前記第4アライメントマークからの光に基づいて前記第3アライメントマークと前記第4アライメントマークとの相対位置を求める処理部と、 前記検出部によって検出される前記第1アライメントマークと前記第2アライメントマークからの光の検出光量と、前記第3アライメントマークと前記第4アライメントマークからの光の検出光量と、の相対値が所定の範囲内に収まるように、前記第1波長の光量と前記第2波長の光量の相対量を調整する調整部と、を有することを特徴とする計測装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  B29C 59/02
FI (4件)：
H01L21/30 502D ,  H01L21/30 525E ,  G01B11/00 H ,  B29C59/02 Z
Fターム (46件)：
2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065AA12 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC17 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065GG03 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL42 ,  2F065NN02 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AJ06 ,  4F209AP06 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F146AA31 ,  5F146CB10 ,  5F146EA07 ,  5F146ED01 ,  5F146FA06 ,  5F146FA10 ,  5F146FB09 ,  5F146FB13 ,  5F146FC10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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