特許
J-GLOBAL ID：201703005732903968
基板処理装置および基板処理装置の回転位置決め方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-061895
公開番号（公開出願番号）：特開2017-175060
出願日： 2016年03月25日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：
【課題】対向部材を、目標回転位置に容易に位置決めする。【解決手段】基板処理装置は、基板の保持部材と、対向部材と、保持部材の回転機構と、対向部材の昇降機構と、対向部材が目標回転位置に位置するか否かを検出するセンサーと、制御部とを備える。延設部と保持部材とのうち一方の部材に突出部が設けられ、他方の部材には、突出部の相対的な動きを規制可能な規制構造が設けられている。規制構造は、対向部材と保持部材とが基準の回転位置関係にあり、対向部材が処理位置に位置決めされているときに、突出部の相対的な動きを規制する。他方の部材は、対向部材が復帰用位置に配置されたときに突出部に当接可能な当接部をさらに含む。制御部は、昇降機構に対向部材を復帰用位置に位置決めさせた後に保持部材を回転させることによって当接部を介して対向部材を回転させて、センサーの検出結果に基づいて対向部材を目標回転位置に位置決めさせる。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
基板を下方から略水平に保持し、所定の回転軸を中心に回転可能に設けられた保持部材と、
前記保持部材に保持された前記基板の上面と隙間を隔てて対向する本体部と、前記本体部の周縁部のうち少なくとも一部から前記保持部材側に延設された延設部とを備えて前記回転軸を中心に回転可能に設けられた対向部材と、
前記保持部材を、前記回転軸を中心に回転させることができる回転機構と、
前記保持部材に保持されて回転している前記基板の処理対象面に処理液を吐出可能なノズルと、
前記対向部材の前記延設部が前記保持部材に保持された前記基板の側面を覆う処理位置と、前記処理位置から上方に離れた待避位置との間で、前記対向部材を前記回転軸に沿って前記保持部材に対して相対的に昇降させることができる昇降機構と、
前記対向部材が前記回転軸を中心とする定められた目標回転位置に位置するか否かを検出するセンサーと、
前記回転機構と前記昇降機構とを制御する制御部と
を備え、
前記延設部と前記保持部材とのうち一方の部材に突出部が設けられるとともに、他方の部材には、前記突出部の前記回転軸を中心とする周方向に沿った相対的な動きを規制可能な規制構造が設けられ、
前記保持部材が前記回転軸を中心とする定められた基準回転位置に位置するとともに、前記対向部材が前記目標回転位置に位置するときの前記保持部材と前記対向部材との相対的な回転位置関係によって、基準の回転位置関係を定義したとき、
前記規制構造は、前記対向部材と前記保持部材とが前記基準の回転位置関係にあるとともに、前記対向部材が前記処理位置に位置決めされているときに、前記周方向における前記突出部の前後から前記突出部に対向して配置されることによって、前記突出部の前記周方向への相対的な動きを規制し、
前記他方の部材は、前記対向部材が前記待避位置と前記処理位置との間に定められた復帰用位置に配置されたときに前記突出部に当接可能な当接部をさらに含み、
前記制御部は、前記昇降機構に前記対向部材を前記復帰用位置に位置決めさせる昇降位置決め処理を行った後に、前記当接部が前記突出部に当接している状態で前記回転機構に前記保持部材を回転させることによって前記突出部と前記当接部とを介して前記対向部材を回転させて、前記センサーの検出結果に基づいて前記対向部材を前記目標回転位置に位置決めさせる回転位置決め処理を行う、基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304
, H01L 21/027
, H01L 21/306
H01L21/304 648G
, H01L21/304 643A
, H01L21/30 572B
, H01L21/306 R
5F043DD13
, 5F043EE08
, 5F043EE09
, 5F043EE35
, 5F146MA06
, 5F146MA10
, 5F157AB02
, 5F157AB33
, 5F157AB90
, 5F157BB11
, 5F157CD27
, 5F157CE03
, 5F157CE25
, 5F157CF42
, 5F157DA31
