特許

J-GLOBAL ID：201703005782605470

加工装置

発明者： 山田 智広
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (5件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-245252
公開番号（公開出願番号）：特開2014-093513
特許番号：特許第6061629号
出願日： 2012年11月07日
公開日（公表日）： 2014年05月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ウェーハの外周縁をウェーハの表面から切削してウェーハに円形切削加工を施す加工装置であって、 ウェーハの裏面を保持しウェーハの表面を露出させる回転可能なチャックテーブルと、回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端部に装着され且つ該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面の外周縁を切削する切削ブレードとを有する切削手段と、ウェーハの外周部を把持しウェーハを該チャックテーブル上に搬送する搬送手段と、を備え、 該チャックテーブルは、ウェーハの外周部を保持する環状保持面を有する環状保持部と、該環状保持面に開口する吸引口と、一端が該吸引口に連通するとともに他端が吸引源に接続される吸引路と、該環状保持部で囲繞される中央凹部と、その上面が該環状保持面よりも低い下方位置及びその上面が該環状保持面よりも高い上方位置に昇降可能に該中央凹部内に配設された昇降プレートと、該昇降プレートの該上面に複数個形成されたエアー供給口と、一端が該エアー供給口に他端が圧縮エアー供給源に接続されるエアー供給路と、を備え、 該切削手段によりウェーハが切削される際には、該昇降プレートは該下方位置に位置づけられ、該ウェーハの外周部が該環状保持部のみに保持され、 該搬送手段により該チャックテーブルにウェーハを搬入出する際には、該昇降プレートは該上方位置に位置づけられるとともに該エアー供給口から圧縮エアーが供給されウェーハが圧縮エアーに保持され上昇し、ウェーハの外周部裏面と該環状保持面との間に隙間が形成されることで該搬送手段によりウェーハの外周部が把持されること、を特徴とする加工装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  B24B 41/06 ( 201 2.01) ,  H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01L 21/304 622 L ,  H01L 21/304 601 B ,  B24B 41/06 L ,  B24B 41/06 A ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 液滴吐出装置及び載置板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-308249   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-118720   出願人：オリンパス株式会社