特許

J-GLOBAL ID：201703005931755030

半導体装置およびその製造方法

発明者： 砂村 潤
出願人/特許権者： ルネサスエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人筒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-196659
公開番号（公開出願番号）：特開2017-069513
出願日： 2015年10月02日
公開日（公表日）： 2017年04月06日
要約：

【課題】半導体チップ内の回路動作において信号遅延が発見された場合に、設計変更により遅延改善のためのリピータを追加形成する際、半導体チップの面積増大および半導体装置の製造コストの増大を防ぐ。【解決手段】リピータを構成するインバータを、半導体基板主面近傍のトランジスタではなく、積層配線層の上部に形成したトランジスタにより構成する。これにより、リピータを追加する設計変更により、レイアウト変更が必要となる配線層の数を低減する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

半導体基板と、 前記半導体基板上に形成された層間絶縁膜を含む配線層と、 前記層間絶縁膜に埋設され、前記配線層を構成する第1ゲート電極および第2ゲート電極と、 前記層間絶縁膜上および前記第1ゲート電極上に形成された第1ゲート絶縁膜と、 前記層間絶縁膜上および前記第2ゲート電極上に形成された第2ゲート絶縁膜と、 前記第1ゲート電極の直上に前記第1ゲート絶縁膜を介して形成された第1半導体層と、 前記第2ゲート電極の直上に前記第2ゲート絶縁膜を介して形成された第2半導体層と、 前記第1半導体層および前記第2半導体層を覆う第1絶縁膜と、 前記第1絶縁膜を貫通する複数のビアと、 一対の前記ビアのそれぞれが接する前記第1半導体層の上面に形成された第1ソース領域および第1ドレイン領域と、 一対の前記ビアのそれぞれが接する前記第2半導体層の上面に形成された第2ソース領域および第2ドレイン領域と、 を有し、 前記第1ゲート電極、前記第1ソース領域および前記第1ドレイン領域は、第1導電型の第1トランジスタを構成し、 前記第2ゲート電極、前記第2ソース領域および前記第2ドレイン領域は、前記第1導電型とは異なる第2導電型の第2トランジスタを構成し、 前記第1ゲート電極および前記第2ゲート電極は、互いに電気的に接続され、 前記第1ドレイン領域および前記第2ドレイン領域は、互いに電気的に接続され、 前記第1トランジスタおよび前記第2トランジスタにより構成される第1インバータは、リピータ回路として用いられる、半導体装置。

IPC (8件)：

H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/320 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 21/82 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/088

FI (7件)：

H01L27/04 A ,  H01L21/88 Z ,  H01L21/82 D ,  H01L27/08 102A ,  H01L27/08 102E ,  H01L27/08 102H ,  H01L27/08 102J

Fターム (95件)：

5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH21 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ21 ,  5F033KK01 ,  5F033KK11 ,  5F033MM02 ,  5F033MM12 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ28 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033SS11 ,  5F033TT08 ,  5F033UU01 ,  5F033VV04 ,  5F033VV05 ,  5F033VV06 ,  5F033VV07 ,  5F033VV15 ,  5F033VV16 ,  5F033XX24 ,  5F033XX27 ,  5F033XX28 ,  5F033XX34 ,  5F038CA16 ,  5F038CD06 ,  5F038CD07 ,  5F038CD09 ,  5F038DF01 ,  5F038DF05 ,  5F038EZ01 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ20 ,  5F048AA01 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AB04 ,  5F048AB10 ,  5F048AC01 ,  5F048AC04 ,  5F048AC10 ,  5F048BA01 ,  5F048BA14 ,  5F048BA20 ,  5F048BB01 ,  5F048BB09 ,  5F048BB12 ,  5F048BB14 ,  5F048BC01 ,  5F048BC11 ,  5F048BE08 ,  5F048BF02 ,  5F048BF07 ,  5F048BF11 ,  5F048BF12 ,  5F048BF16 ,  5F048BG05 ,  5F048CB01 ,  5F048CB02 ,  5F048CB03 ,  5F048CB04 ,  5F048CB10 ,  5F064AA04 ,  5F064BB05 ,  5F064BB06 ,  5F064BB07 ,  5F064BB12 ,  5F064BB19 ,  5F064BB26 ,  5F064CC12 ,  5F064CC21 ,  5F064CC22 ,  5F064CC23 ,  5F064EE08 ,  5F064EE27 ,  5F064EE32 ,  5F064EE33 ,  5F064EE43 ,  5F064EE47 ,  5F064EE54 ,  5F064GG05 ,  5F064HH10