特許
J-GLOBAL ID：201703006111002858
プラズマ光源
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (5件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 高橋 俊一
, 伊藤 正和
, 高松 俊雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-116727
公開番号（公開出願番号）：特開2014-235886
特許番号：特許第6111145号
出願日： 2013年06月03日
公開日（公表日）： 2014年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 単一の軸線上に延びる棒状の中心電極と、前記中心電極の外周を囲むように設けられた外部電極と、前記中心電極及び前記外部電極の間を絶縁する絶縁体とを有し、対称面を挟んで互いに対向配置され、極端紫外光を放射するプラズマを発生すると共に前記プラズマを閉じ込める一対の同軸状電極と、
前記中心電極の側面に設けられ、前記プラズマのプラズマ媒体を保持する媒体保持部と、
各前記同軸状電極に対して放電電圧を印加する電圧印加装置と、
前記媒体保持部においてアブレーションを行うと共に前記放電電圧によるプラズマシートを発生させるためのレーザー光を照射するレーザー装置と、
光学素子によって、前記媒体保持部上の前記レーザー光の標的位置を自律的にシフトさせる位置調整装置と
を備えることを特徴とするプラズマ光源。
IPC (2件)：
H05G 2/00 ( 200 6.01)
, H01S 3/00 ( 200 6.01)
H05G 2/00 K
, H01S 3/00 A
