環状ジエステル基を有するシリコン含有レジスト下層膜形成組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人はなぶさ特許商標事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013083740
公開番号（公開出願番号）：WO2014-098076
出願日： 2013年12月17日
公開日（公表日）： 2014年06月26日
要約：

【課題】ハードマスクとして使用できるレジスト下層膜を提供する。【解決手段】シランとして加水分解性シラン、その加水分解物、又はその加水分解縮合物を含み、該加水分解性シランが式(1)で示されるシラン、又は式(1)で示されるシランと式(2)で示されるシランの組み合わせからなる加水分解性シランを含み、且つ式(1)、又は式(1)と式(2)の組み合わせの加水分解性シランが全シランの50モル%未満含まれる、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物。式(1):【化1】〔式中R1は式(1-1)、式(1-2)、又は式(1-3):【化2】を含む有機基であり、aは1の整数を示し、bは0又は1の整数を示し、a+bは1又は2の整数を示す。〕式(2):【化3】〔式中R4は式(2-1)、式(2-2)、又は式(2-3):【化4】を含む有機基であり、aは1の整数を示し、bは0又は1の整数を示し、a+bは1又は2の整数を示す。〕【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シランとして加水分解性シラン、その加水分解物、又はその加水分解縮合物を含み、該加水分解性シランが式(1)で示される加水分解性シラン、又は式(1)で示される加水分解性シランと式(2)で示される加水分解性シランとの組み合わせからなる加水分解性シランを含み、且つ該式(1)で示される加水分解性シラン、又は式(1)で示される加水分解性シランと式(2)で示される加水分解性シランとの組み合わせからなる加水分解性シランが全シランの50モル%未満含まれる、リソグラフィー用レジスト下層膜形成組成物。式(1):

IPC (6件)：

G03F 7/11 , G03F 7/26 , C08G 77/14 , C08G 77/28 , C08G 77/26 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F7/11 503 , G03F7/26 511 , C08G77/14 , C08G77/28 , C08G77/26 , H01L21/30 574 , H01L21/30 563

Fターム (92件)：

2H125AE04N , 2H125AF17N , 2H125AF35N , 2H125AF38N , 2H125AF41N , 2H125AM10N , 2H125AM61N , 2H125AM85N , 2H125AM86N , 2H125AM91N , 2H125AN02N , 2H125AN05N , 2H125AN37N , 2H125AN39N , 2H125AN78N , 2H125AN85N , 2H125AN86N , 2H125AP01N , 2H125BA01N , 2H125BA02N , 2H125BA21N , 2H125BA24N , 2H125BA32N , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 2H125FA05 , 2H196AA25 , 2H196CA05 , 2H196HA23 , 2H196KA02 , 2H196KA07 , 2H196KA19 , 2H225AE04N , 2H225AF24N , 2H225AF43N , 2H225AF71N , 2H225AM10N , 2H225AM61N , 2H225AM85N , 2H225AM86N , 2H225AM91N , 2H225AN02N , 2H225AN05N , 2H225AN37N , 2H225AN39N , 2H225AN78N , 2H225AN85N , 2H225AN86N , 2H225AP01N , 2H225BA01N , 2H225BA02N , 2H225BA21N , 2H225BA24N , 2H225BA32N , 2H225CA12 , 2H225CB09 , 2H225CB10 , 2H225CC01 , 2H225CC03 , 2H225CC15 , 2H225CD05 , 4J246AA03 , 4J246BA260 , 4J246BA26X , 4J246BB020 , 4J246BB022 , 4J246BB02X , 4J246CA240 , 4J246CA24X , 4J246CA400 , 4J246CA40X , 4J246CA630 , 4J246CA63X , 4J246CA660 , 4J246CA66X , 4J246CA800 , 4J246CA80X , 4J246CA850 , 4J246CA85X , 4J246FA071 , 4J246FA431 , 4J246FB051 , 4J246GA01 , 4J246GB04 , 4J246GD08 , 4J246HA15 , 5F146NA17 , 5F146PA07

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