特許

J-GLOBAL ID：201703006167518199

保持装置、計測装置、および物品製造方法

発明者： 久保 諭史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 高岡 亮一 ,  小田 直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-095182
公開番号（公開出願番号）：特開2017-203871
出願日： 2016年05月11日
公開日（公表日）： 2017年11月16日
要約：

【課題】保持される物体の位置の再現性の点で有利な保持装置を提供する。【解決手段】光学素子22を保持する保持装置であって、光学素子22を位置決めする位置決め部51と、位置決め部51に対して光学素子22に付勢力を加える弾性部52と、を有し、付勢力の方向に交差する方向における弾性部52と光学素子22との間の線膨張量の差が閾値以下になるように、位置決め部51と弾性部52とが構成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光学素子を保持する保持装置であって、 前記光学素子を位置決めする位置決め部と、 前記位置決め部に対して前記光学素子に付勢力を加える弾性部と、を有し、 前記付勢力の方向に交差する方向における前記弾性部と前記光学素子との間の線膨張量の差が閾値以下になるように、前記位置決め部と前記弾性部とが構成されていることを特徴とする保持装置。

IPC (2件)：

G02B 7/00 ,  G01B 11/25

FI (2件)：

G02B7/00 F ,  G01B11/25 H

Fターム (15件)：

2F065AA04 ,  2F065AA37 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065HH07 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ31 ,  2H043AE17 ,  2H043AE23