特許

J-GLOBAL ID：201703006195410948

切削装置

発明者： 松本 幸子 ,  マイケル ウィリアム ガド
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-190070
公開番号（公開出願番号）：特開2016-215372
特許番号：特許第6181264号
出願日： 2016年09月28日
公開日（公表日）： 2016年12月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 表面に被加工物を保持する保持部と、 回転自在なスピンドル及び該スピンドルに装着された切削ブレードを有する切削手段と、 該切削ブレードを該保持部を相対的に移動させる移動手段と、 被加工物に向けて切削水を供給する切削水供給部と、を有する切削装置であって、 前記保持部に隣接して設けられ、かつ流体と微粒子の混合物を該切削ブレードに向かって供給する混合物供給部を備え、 前記混合物供給部は、 供給された該混合物を前記切削ブレードの刃先の接線方向に沿って流す通路を内部に設け、かつ切削ブレードの刃先を侵入させる侵入孔を設けたドレッシング部を備えることを特徴とする切削装置。

IPC (4件)：

B24B 53/00 ( 200 6.01) ,  B24B 27/06 ( 200 6.01) ,  B24B 53/013 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01)

FI (4件)：

B24B 53/00 K ,  B24B 27/06 M ,  B24B 53/013 ,  H01L 21/78 F