特許

J-GLOBAL ID：201703006492437189

熱式流量センサの製造方法

発明者： 池 信一 ,  奥畑 和子 ,  片桐 宗和
出願人/特許権者： アズビル株式会社
代理人 (6件)： 田澤 英昭 ,  濱田 初音 ,  中島 成 ,  坂元 辰哉 ,  辻岡 将昭 ,  井上 和真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-113473
公開番号（公開出願番号）：特開2017-219401
出願日： 2016年06月07日
公開日（公表日）： 2017年12月14日
要約：

【課題】ヒータにより熱が生じても、アウトガスの発生を抑える。【解決手段】配管1と、ヒータ22を有するセンサチップ2とを接着したシリコーン系の接着剤5に対し、当該接着剤5の重量変化が飽和するまで焼成を行う焼成ステップを有する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

配管と、ヒータを有するセンサチップとを接着したシリコーン系の接着剤に対し、当該接着剤の重量変化が飽和するまで焼成を行う焼成ステップ を有することを特徴とする熱式流量センサの製造方法。

IPC (1件)：

G01F 1/692

FI (1件)：

G01F1/692 C

Fターム (1件)：

2F035EA08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 表面実装型圧電デバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-167022   出願人：エプソントヨコム株式会社
• 周期分極反転素子モジュール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-022333   出願人：パナソニック株式会社
• 静電チャック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-119498   出願人：国立大学法人東北大学, 住友大阪セメント株式会社