特許

J-GLOBAL ID：201703006592062891

大気圧プラズマを用いる堆積のための方法及び装置

発明者： マルヴィ・エー・マトス ,  リアム・エス・ピングリー
出願人/特許権者： ザ・ボーイング・カンパニー
代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-538808
特許番号：特許第6085305号
出願日： 2012年10月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 プラズマ(122)を発生させるように構成されるプラズマ堆積ユニット(110)と、 前記プラズマ堆積ユニット(110)の下で基板(108)を移動させるように構成される移動システム(112)と、 前記プラズマ堆積ユニット(110)と前記基板(108)との間に位置するメッシュシステム(124)であって、メッシュは、前記基板(108)上への堆積のために複数の材料(104)を備え、前記メッシュを通過する前記プラズマ(122)により、前記メッシュからの前記複数の材料(104)の一部が前記基板(108)上に堆積するメッシュシステムとを備える装置であって、 前記プラズマ堆積ユニット(110)が複数のノズル(128)を備え、前記メッシュシステム(124)が、前記複数のノズル(128)と前記基板(108)との間に位置する複数のメッシュ(138)を備える、装置。

IPC (4件)：

C23C 14/22 ( 200 6.01) ,  H05H 1/24 ( 200 6.01) ,  H05H 1/46 ( 200 6.01) ,  H05H 1/48 ( 200 6.01)

FI (4件)：

C23C 14/22 Z ,  H05H 1/24 ,  H05H 1/46 A ,  H05H 1/48

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭55-141721
  
• 多成分堆積方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-078756   出願人：ユナイテッドテクノロジーズコーポレイション