特許
J-GLOBAL ID：201703006955062090
パターン形成方法およびパターン形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
振角 正一
, 梁瀬 右司
, 大西 一正
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-066310
公開番号（公開出願番号）：特開2014-188839
特許番号：特許第6178090号
出願日： 2013年03月27日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ブランケットの一方面と多角形形状を有する板状物体の一方面とを互いに対向させた状態で前記ブランケットを第1保持手段により保持するとともに、前記板状物体を第2保持手段により保持する第1工程と、
前記第1保持手段および前記第2保持手段の少なくとも一方を移動させ、前記ブランケットの一方面と前記板状物体の一方面とを互いに押し付けてパターンを形成する第2工程とを備え、
前記第1工程は、前記第2保持手段により保持された前記板状物体の外縁の少なくとも一部を撮像し、当該撮像結果に基づき前記板状物体を保持したまま前記第2保持手段を前記板状物体の一方面と平行に移動させて前記板状物体を目標位置に位置決めするプリアライメント工程を有し、
前記プリアライメント工程は、
前記板状物体の形状を規定する辺の一つである第1辺の互いに異なる複数箇所を個別に撮像し、当該撮像結果に基づき前記目標位置に対する前記板状物体の傾きを補正する傾き補正工程と、
前記傾き補正された前記板状物体の形状を規定する辺のうち前記第1辺と平行していない第2辺および前記第1辺を個別に撮像し、当該撮像結果に基づき前記目標位置に対する前記板状物体のオフセットを補正するオフセット補正工程と
を有することを特徴とするパターン形成方法。
IPC (8件)：
B41F 33/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/68 ( 200 6.01)
, B41F 1/16 ( 200 6.01)
, B41F 1/00 ( 200 6.01)
, B41F 1/56 ( 200 6.01)
, B41F 17/14 ( 200 6.01)
, B41F 17/36 ( 200 6.01)
, B41M 1/02 ( 200 6.01)
B41F 33/00 290
, H01L 21/68 F
, B41F 1/16
, B41F 1/00 B
, B41F 1/56
, B41F 17/14 E
, B41F 17/36 C
, B41M 1/02
