カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：大窪克之 , 金子一郎 , 大窪克之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-057271
公開番号（公開出願番号）：特開2016-147803
特許番号：特許第6153274号
出願日： 2016年03月22日
公開日（公表日）： 2016年08月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】カーボンナノチューブを成長させる為の触媒が収容された容器内に、前記カーボンナノチューブの原料となる炭素化合物を供給することにより前記カーボンナノチューブを成長させる工程を含み、前記工程において、前記炭素化合物の供給によって前記カーボンナノチューブとは別に前記触媒の表面に堆積する炭素生成物の生成量を低減する為の、ハロゲン単体及びハロゲン化合物のうち少なくとも一方を含む200ppm以上のハロゲン含有物を前記容器内に更に供給し、前記容器内に前記炭素化合物の供給を開始した後に、前記容器内に前記ハロゲン含有物の供給を開始する、カーボンナノチューブの製造方法。

IPC (3件)：