特許

J-GLOBAL ID：201703006978873215

インプリント装置および物品の製造方法

発明者： 坂本 英治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 高岡 亮一 ,  小田 直
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-240689
公開番号（公開出願番号）：特開2017-139452
出願日： 2016年12月12日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
要約：

【課題】パターン欠陥を低減したインプリント装置を提供する。【解決手段】型2を用いて基板5にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置1は、基板5を保持して移動可能な基板ステージ6と、基板ステージ6上の基板5を保持する部分の外周部に配置され、孔を有する板部材10と、孔を介して基板ステージ6上の空間の気体を吸引する吸引手段12と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

型を用いて基板にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、 前記基板を保持して移動可能なステージと、 前記ステージ上の前記基板を保持する部分の外周部に配置され、孔を有する板部材と、 前記孔を介して前記ステージ上の空間の気体を吸引する吸引手段と、を有する ことを特徴とするインプリント装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B29C 59/02 ,  G11B 5/84

FI (3件)：

H01L21/30 502D ,  B29C59/02 Z ,  G11B5/84 Z

Fターム (21件)：

4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ06 ,  4F209AM30 ,  4F209AR11 ,  4F209AR14 ,  4F209AR16 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA09 ,  5D112GA00 ,  5F146AA31