特許

J-GLOBAL ID：201703007095093933

有機EL表示装置の製造装置のマスク保持器具、及び、有機EL表示装置の製造装置

発明者： 小野 敬亮 ,  松本 行生 ,  北野 尚武
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンディスプレイ
代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-257658
公開番号（公開出願番号）：特開2017-119905
出願日： 2015年12月29日
公開日（公表日）： 2017年07月06日
要約：

【課題】膜ボケを抑制することに加えて、従来よりも膜ムラを抑制できる有機EL表示装置の製造装置のマスク保持器具を提供する。【解決手段】基板の成膜領域を開口し非成膜領域を遮蔽する遮蔽部を有するメタルマスクが配置される第1面と、前記第1面とは反対側の第2面と、を有する支持部材と、前記支持部材の前記第2面に配置されたマグネットと、を有し、前記マグネットは、前記メタルマスクの前記遮蔽部に重なる領域内に配置されていることを特徴とする有機EL表示装置の製造装置。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

基板の成膜領域を開口し非成膜領域を遮蔽する遮蔽部を有するメタルマスクが配置される第1面と、前記第1面とは反対側の第2面と、を有する支持部材と、 前記支持部材の前記第2面に配置されたマグネットと、を有し、 前記マグネットは、前記メタルマスクの前記遮蔽部に重なる領域内に配置されていることを特徴とする有機EL表示装置の製造装置のマスク保持器具。

IPC (3件)：

C23C 14/04 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10

FI (3件)：

C23C14/04 A ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10

Fターム (9件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG05 ,  3K107GG32 ,  3K107GG33 ,  4K029HA04