特許
J-GLOBAL ID：201703007099683239
プローブ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-067810
公開番号（公開出願番号）：特開2014-192404
特許番号：特許第6042760号
出願日： 2013年03月28日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体ウエハに形成された半導体デバイスと電気的な接続を形成し、テスタにより電気的な検査を行うプローブ装置であって、
前記半導体ウエハを載置するための載置台と、
前記載置台の前記半導体ウエハの載置面に形成され、前記半導体デバイスの裏面側に形成された裏面側電極と接触される載置台電極と、
前記載置台の上方に配設され、前記テスタと電気的に接続される複数のプローブを有するプローブカードと、
前記載置台を駆動し、当該載置台に載置された前記半導体ウエハの前記半導体デバイスの電極に前記プローブを接触させる駆動機構と、
前記載置台の上方に配設され、前記テスタと電気的に接続される電極板と、
前記載置台の側方に配設され、前記載置台電極と電気的に接続され、前記電極板に当接されることによって前記裏面側電極と前記テスタとの電気的な接続を行う接続導体と、
前記接続導体の前記電極板との接触部を研磨するための研磨手段と、前記接触部をブラシクリーニングするブラシクリーニング手段及び前記接触部の接触抵抗を測定する接触抵抗測定手段とを有するクリーニング機構と
を具備することを特徴とするプローブ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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