特許

J-GLOBAL ID：201703007332546956

プラズマ処理方法

発明者： 大野 久美子 ,  辻本 宏 ,  永海 幸一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柏岡 潤二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-057010
公開番号（公開出願番号）：特開2017-174890
出願日： 2016年03月22日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
要約：

【課題】第1のガスを含む第1の処理ガスのプラズマを生成する第1段階と第1のガス及び第2のガスを含む第2の処理ガスのプラズマを生成する第2段階とを各々が含む複数回のサイクルを実行するプラズマ処理方法において、第2段階が行われる期間の開始時点とガス供給系からの第2のガスの出力の開始時点との間の時間差をレシピに応じて自動的に決定する。【解決手段】第2段階の第1のガスの流量及び第2のガスの流量に対応する遅延時間が関数又はテーブルを用いて特定される。ガス供給系からの第2のガスの出力は、遅延時間に基づき設定される時間差の分だけ、第2段階の開始時点よりも前に開始される。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

プラズマ処理装置において実行されるプラズマ処理方法であって、 前記プラズマ処理装置は、 処理容器と、 前記処理容器内にガスを供給するガス供給系と、 前記処理容器内の空間がそれらの間に介在するように設けられた第1電極及び第2電極と、 前記第1電極及び前記第2電極のうち一方の電極に供給されるプラズマ生成用の第1の高周波を出力する第1の高周波電源と、 前記第2電極に供給されるイオン引き込み用の第2の高周波を出力する第2の高周波電源と、 前記ガス供給系、前記第1の高周波電源、及び、前記第2の高周波電源を制御する制御部と、 を備え、 該プラズマ処理方法において、前記処理容器内において第1のガスを含む第1の処理ガスのプラズマを生成する第1段階、及び、第1段階に続き、前記処理容器内において前記第1のガスと該第1のガスに添加された第2のガスを含む第2の処理ガスのプラズマを生成する第2段階を、各々が含む複数回のサイクルが実行され、 前記第1段階が行われる第1の期間、及び、該第1の期間に続き前記第2段階が行われる第2の期間にわたって、前記第1のガスが前記処理容器内に供給され、前記第1の高周波が前記一方の電極に供給され、 前記第2の期間において前記第2電極に前記第2の高周波が供給され、 前記第1の期間における前記第2の高周波のパワーが、前記第2の期間における前記第2の高周波のパワーよりも低いパワーに設定され、 該プラズマ処理方法は、 前記制御部による制御に応じて、前記第2の期間の開始時点に対して第1の時間差の分だけ前の出力開始時点に、前記ガス供給系からの前記第2のガスの出力を開始する工程と、 前記制御部による制御に応じて、前記第2の期間の前記開始時点に、前記第2電極に対する前記第2の高周波の供給を開始する工程と、 前記制御部による制御に応じて、前記第2の期間中且つ該第2の期間の終了時点に対して第2の時間差の分だけ前の出力停止時点に、前記ガス供給系からの前記第2のガスの出力を停止する工程と、 前記制御部による制御に応じて、前記第2の期間の前記終了時点に、前記第2の高周波のパワーを低下させる工程と、 を含み、 前記制御部は、前記第1のガスの流量と前記第2のガスの流量に、前記ガス供給系が前記第2のガスの出力を開始した時点から前記処理容器内に前記第2のガスが供給される時点までの遅延時間を関連付ける関数又はテーブルを用いて、レシピにおいて指定された前記第2段階の前記第1のガスの流量と前記第2のガスの流量に関連付けられた第1の遅延時間を特定し、該第1の遅延時間を初期的に前記第1の時間差に設定し、 前記制御部は、前記第1のガスの流量に、前記ガス供給系が前記第2のガスの出力を停止した時点から前記処理容器内への前記第2のガスの供給が終了する時点までの遅延時間を関連付ける関数又はテーブルを用いて、前記レシピにおいて指定された前記第2段階の前記第1のガスの流量に関連付けられた第2の遅延時間を特定し、該第2の遅延時間を初期的に前記第2の時間差に設定する、 プラズマ処理方法。

IPC (2件)：

H01L 21/306 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

H01L21/302 101B ,  H01L21/302 103 ,  H05H1/46 M

Fターム (52件)：

2G084AA01 ,  2G084BB22 ,  2G084CC05 ,  2G084CC12 ,  2G084CC13 ,  2G084CC33 ,  2G084DD02 ,  2G084DD15 ,  2G084DD37 ,  2G084DD38 ,  2G084DD53 ,  2G084DD57 ,  2G084EE07 ,  2G084EE21 ,  2G084FF03 ,  2G084FF13 ,  2G084FF15 ,  2G084FF31 ,  2G084HH02 ,  2G084HH05 ,  2G084HH08 ,  2G084HH09 ,  2G084HH21 ,  2G084HH22 ,  2G084HH23 ,  2G084HH25 ,  2G084HH26 ,  2G084HH27 ,  2G084HH28 ,  2G084HH29 ,  2G084HH32 ,  2G084HH34 ,  2G084HH36 ,  2G084HH42 ,  2G084HH54 ,  2G084HH55 ,  2G084HH56 ,  5F004BA09 ,  5F004BB11 ,  5F004BB12 ,  5F004BB22 ,  5F004BB23 ,  5F004BB25 ,  5F004BB28 ,  5F004CA01 ,  5F004CA03 ,  5F004CA06 ,  5F004CA08 ,  5F004CB02 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F004EA28