特許

J-GLOBAL ID：201703007384052544

ラミナー型回折格子

発明者： 小池 雅人 ,  長野 哲也
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-166542
公開番号（公開出願番号）：特開2017-044556
出願日： 2015年08月26日
公開日（公表日）： 2017年03月02日
要約：

【課題】容易に製造を行うことができる、高効率の回折格子を提供する。【解決手段】ラミナー型ベース11上に、目的電磁波(回折しようとする電磁波)の浸透深さよりも厚い屈折率nmの金属膜12が被覆され、金属膜12の上に目的電磁波の浸透深さよりも薄い屈折率noの酸化物膜(又は屈折率nfのフッ化物膜)13が被覆されており、1>no>nm(又は1>nf>nm)であるラミナー型回折格子。このラミナー型回折格子では、目的電磁波の入射角を金属膜12の全反射条件より僅かに大きい角度として使用する。入射した目的電磁波は、エバネッセント効果により、一部が酸化物膜又はフッ化物膜13内に侵入し、さらに金属膜12に侵入するが、金属膜12を透過することはなく、回折効率を高める。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

ラミナー型ベース上に、 目的電磁波の浸透深さよりも厚い屈折率nmの金属膜が被覆され、 該金属膜の上に該目的電磁波の浸透深さよりも薄い屈折率noの酸化物膜が被覆されており、 1 > no > nmである ことを特徴とするラミナー型回折格子。

IPC (5件)：

G21K 1/06 ,  G02B 5/18 ,  G01N 23/225 ,  G01N 23/04 ,  G21K 1/00

FI (6件)：

G21K1/06 B ,  G02B5/18 ,  G01N23/225 312 ,  G01N23/04 ,  G21K1/00 X ,  G21K1/06 C

Fターム (15件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001EA02 ,  2G001KA01 ,  2G001LA02 ,  2G001NA15 ,  2H249AA07 ,  2H249AA13 ,  2H249AA41 ,  2H249AA44 ,  2H249AA53 ,  2H249AA55