特許
J-GLOBAL ID：201703007403047654
近接場偏光顕微鏡
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
渡辺 三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-165037
公開番号（公開出願番号）：特開2017-181025
出願日： 2014年08月13日
公開日（公表日）： 2017年10月05日
要約：
【課題】試料に外部から磁界を印加しつつ、試料の磁区を正確に検出することができる近接場偏光顕微鏡の提供。【解決手段】近接場偏光顕微鏡1は、探針2を有するカンチレバー3と、磁区検出レーザ光11の探針2への照射による近接場光により試料8の磁区を検出する磁区検出光学系4と、磁区検出レーザ光11の照射状態を観察する観察照明光学系5と、磁区検出光学系4と観察照明光学系5との共通の対物レンズ6と、試料8に外部から磁界を印加する磁界印加手段7とを備える。磁界印加手段7が有する上部磁極43と下部磁極44との間に、非磁性かつ非導電性材料から形成されるカンチレバー3と、磁性材料から形成される試料8とが配置される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも表面が磁性を有する試料の磁区を検出することができる近接場偏光顕微鏡であって、
非磁性材料から形成され、先端へ行くに従って先細りとなる凹形状の探針を有し、この探針は、光を透過する材料で形成されると共に内面が金属製の膜で覆われ、前記探針と前記試料との間に原子間力が作用するよう配置されるカンチレバーと、
磁区検出レーザ光の前記探針内面への照射による近接場光により、前記試料の磁区を検出できる磁区検出光学系と、
前記磁区検出レーザ光の波長以外の波長帯を有する照明光の前記カンチレバーからの戻り光の光学像により、前記磁区検出レーザ光の照射状態が観察できる観察照明光学系と、
前記磁区検出光学系および前記観察照明光学系に対して共通に設けられる対物レンズと、
前記カンチレバーおよび前記試料を挟んで上下に配置される上部磁極および下部磁極を有し、前記試料に外部から磁界を印加することができる磁界印加手段と
を備えることを特徴とする近接場偏光顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
前のページに戻る
