特許

J-GLOBAL ID：201703007439073112

希土類元素セリウム複合酸化物粒子とその製造方法、および研摩用組成物

発明者： 王 鵬宇 ,  河本 達慶 ,  西元 和男 ,  山中 達也
出願人/特許権者： JSR株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-075924
公開番号（公開出願番号）：特開2017-186196
出願日： 2016年04月05日
公開日（公表日）： 2017年10月12日
要約：

【課題】 高速でシリコン研磨膜を研磨できる研摩用スラリーを提供する。【解決手段】 本発明に係る希土類元素セリウム複合酸化物粒子は、Cu-kα線源でのX線回折(XRD)において、(111)面の面積強度をA、(200)面の面積強度をB、とした場合、3.8≦A/B<5を満たすことができる。 また、本発明に係る酸化物粒子の製造方法は、Cu-kα線源でのX線回折(XRD)において、(111)面の面積強度をA、(200)面の面積強度をB、とした場合、3.8≦A/B<5を満たす希土類元素酸化物粒子を、希土類元素を含有する塩と、水と、を含有する組成物を100°C以下で加熱することにより製造することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

Cu-kα線源でのX線回折(XRD)において、 (111)面の面積強度をA (200)面の面積強度をB とした場合、3.8≦A/B<5を満たす、 希土類元素セリウム複合酸化物粒子。

IPC (5件)：

C01F 17/00 ,  C09K 3/14 ,  C09G 1/02 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00

FI (7件)：

C01F17/00 B ,  C09K3/14 550D ,  C09K3/14 550Z ,  C09G1/02 ,  H01L21/304 622D ,  H01L21/304 622X ,  B24B37/00 H

Fターム (29件)：

3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158CA04 ,  3C158CB03 ,  3C158CB10 ,  3C158DA02 ,  3C158DA12 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  3C158ED11 ,  4G076AA18 ,  4G076AB04 ,  4G076AB07 ,  4G076BA15 ,  4G076BA45 ,  4G076CA01 ,  4G076CA33 ,  4G076DA30 ,  5F057AA14 ,  5F057AA28 ,  5F057BA24 ,  5F057BB37 ,  5F057CA12 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA09 ,  5F057EA11 ,  5F057EA28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ナノ粒子製造用金属供給システム
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-572053   出願人：アイトゲネシッシェテヒニッシェホーホシューレチューリッヒ
• 酸化セリウムの製造方法、酸化セリウム研磨剤、これを用いた基板の研磨方法及び半導体装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-084911   出願人：日立化成工業株式会社
• 固体酸化物形燃料電池用セルの製造方法および固体酸化物形燃料電池
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-173441   出願人：国立大学法人大阪大学