特許

J-GLOBAL ID：201703007494201545

基板搬送装置及び基板搬送装置の変更方法

発明者： 高木 貴規 ,  土谷 祐介 ,  岡田 健人
出願人/特許権者： 富士機械製造株式会社
代理人 (3件)： 小林 脩 ,  山本 喜一 ,  木村 群司
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012080727
公開番号（公開出願番号）：WO2014-083633
出願日： 2012年11月28日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：

高さ方向の形状が異なるパレットを搬送する場合であっても、容易に変更作業を行うことができる基板搬送装置を提供する。 両側が支持部材12の上端に固定されたパレット押さえ部材15と、支持部材12の内側に沿って設けられたコンベアベルト13aと、上下方向に移動可能に設けられたクランプ支持部材17と、両側の下端に形成された被載置面16w、16xでコンベアベルト13a上に載置されて搬送され、両側下面に被押面16yが形成され、複数の基板999が搭載されるパレット16と、クランプ支持部材17上に設けられ、上端で被押面16yを押し上げるクランプ部材14と、被載置面16w、16xと被押面16yとの第一離間距離αに応じて、クランプ支持部材17上面とクランプ部材14上端の第二離間距離βを調整可能なブロック18と、を有する。

請求項（抜粋）：

本体と、 基板の搬送方向に延在し、前記本体上に設けられた一対の支持部材と、 前記一対の支持部材の内側に沿ってそれぞれ水平に設けられた基板搬送装置と、 前記一対の支持部材の内側における前記本体に上下方向に移動可能に設けられたクランプ支持部材と、 前記クランプ支持部材を、上下方向に昇降する昇降装置と、 前記基板搬送装置によって搬送され、複数の基板が搭載されるパレットと、 前記クランプ支持部材に取り付けられ、前記パレットを押さえ付けることにより、当該パレットを固定するクランプ部材と、 前記パレットの厚さに応じて、前記クランプ支持部材と前記クランプ部材との上下方向の距離が調整可能な上下方向調整部と、を有する基板搬送装置。

IPC (1件)：

H05K 13/04

FI (1件)：

H05K13/04 P

Fターム (11件)：

5E353AA02 ,  5E353BB01 ,  5E353CC23 ,  5E353DD20 ,  5E353GG22 ,  5E353GG31 ,  5E353GG43 ,  5E353JJ25 ,  5E353JJ41 ,  5E353LL04 ,  5E353QQ14