特許
J-GLOBAL ID：201703007692057549
近接場分光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 正義
, 今枝 弘充
, 梅村 裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-184145
公開番号（公開出願番号）：特開2017-058281
出願日： 2015年09月17日
公開日（公表日）： 2017年03月23日
要約：
【課題】分光測定に有用な分光情報を精度良く得ることができる近接場分光装置を提供する。【解決手段】プローブ11に白色光の測定光を導入して、プローブ11の先端に近接場光を発生させる。プローブ11の先端と試料12の測定点との間の相対距離を所定の条件を満たす第1〜第4測定距離に設定して、第1〜第4測定距離のそれぞれで反射光の測定を行う。反射光を含む検出光がプローブ11から分光検出部24に送られ、波長ごとの分光データに変換される。波長ごとの各分光データに所定の演算を適用することにより、バックグランド成分を除去した分光測定データを算出する。同一の測定点に対して得られる複数の分光測定データを積算したものを最終的な分光測定データとする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の波長成分を含む測定光を出力する光源部と、
前記測定光の導入により先端に近接場光を発生させ、先端を試料の表面の測定点に近接することにより近接場光が測定点で反射された反射光を採取するプローブと、
前記プローブの先端と前記試料との相対的な移動によって前記反射光を採取する測定点を移動する走査部と、
前記プローブの先端と前記反射光を採取する測定点との間の相対距離を増減し、前記相対距離の増減を単振動とみなして、前記相対距離を所定角度ずつ位相がずれた3以上の測定距離に順次に設定する測定距離設定部と、
前記測定距離ごとに前記プローブからの前記反射光を含む検出光を分光し、前記検出光の各波長の光強度を出力する分光検出部と、
各々の測定点の各波長について、前記測定距離ごとに得られる前記検出光の同じ波長の光強度に基づいて、前記反射光の当該波長の光強度をそれぞれ算出する分光演算部と
を備えることを特徴とする近接場分光装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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