特許
J-GLOBAL ID：201703007701767422
真空バルブの真空漏れ監視装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
戸田 裕二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-093179
公開番号（公開出願番号）：特開2014-216208
特許番号：特許第6118627号
出願日： 2013年04月26日
公開日（公表日）： 2014年11月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空バルブを有する金属容器内で放電信号成分を検出する検出センサと、
前記信号成分を増幅する手段と、
増幅された前記信号成分の包絡線を検出する包絡線検波手段と、
前記包絡線検波された信号成分のうち商用周波の2倍の周波数の信号成分を抽出する第一のバンドパスフィルタと、
増幅された前記信号成分のうち10kHz〜100kHzの周波数帯の信号成分を抽出する第二のバンドパスフィルタと、
前記商用周波の2倍の周波数の信号成分と前記10kHz〜100kHzの周波数帯の信号成分が同時に閾値を越えたときに前記真空バルブから真空漏れが生じたと判定する判定手段と、
前記判定を表示する表示部を有することを特徴とする、
真空バルブの真空漏れ監視装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
