特許
J-GLOBAL ID：201703007713515240

アンモニアの回収方法及び再利用方法

発明者：
伊崎 寛正

伊崎 寛正 について

, 
岩城 雅典

岩城 雅典 について

, 
秋山 敏雄

秋山 敏雄 について


出願人/特許権者：
日本パイオニクス株式会社

日本パイオニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 大谷 保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-253211
公開番号（公開出願番号）：特開2014-103203
特許番号：特許第6103344号
出願日： 2012年11月19日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 窒化ガリウム系化合物半導体の製造工程から排出されるアンモニア、水素、及び窒素を含む排ガスを、加圧処理及び水分除去手段による除去処理を行なった後、冷媒として液化対象と同一のアンモニアを用いたヒートポンプによる冷却処理を行なうことにより、該排ガスに含まれるアンモニアを液化して水素及び窒素と分離し、アンモニアを回収する方法であって、加圧処理の後及び冷却処理の前に、加圧下で排ガスに含まれる水分を水分除去手段としての凝縮器により除去することを特徴とするアンモニアの回収方法。
IPC (6件)：
H01L 21/205 ( 200 6.01) ,  C23C 16/44 ( 200 6.01) ,  B01D 53/58 ( 200 6.01) ,  B01D 53/26 ( 200 6.01) ,  B01J 20/18 ( 200 6.01) ,  F25J 3/08 ( 200 6.01)
FI (7件)：
H01L 21/205 ZAB ,  C23C 16/44 E ,  B01D 53/58 ,  B01D 53/26 100 ,  B01D 53/26 230 ,  B01J 20/18 B ,  F25J 3/08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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