特許

J-GLOBAL ID：201703008023598875

圧電素子及びその製造方法、圧電アクチュエータ

発明者： 秋山 典之 ,  中村 明
出願人/特許権者： ミツミ電機株式会社
代理人 (2件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-186565
公開番号（公開出願番号）：特開2017-063080
出願日： 2015年09月24日
公開日（公表日）： 2017年03月30日
要約：

【課題】絶縁耐圧を向上することが可能な圧電素子及びその製造方法並びに圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】圧電素子は、基板31と、基板上に形成された下部電極32と、下部電極上に形成された圧電膜33と、圧電膜上に形成された上部電極34と、を有し、上部電極34は、平坦化処理が施された面に形成されている。凹凸のある圧電膜の表面上に上部電極を形成して、凹凸の隙間に電極材料が入り込めず、微細な凹みや空孔が形成されてしまわないように、圧電膜の上面に平坦化処理を施し、圧電膜の絶縁耐圧を向上させる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板上に形成された下部電極と、 前記下部電極上に形成された圧電膜と、 前記圧電膜上に形成された上部電極と、を有し、 前記上部電極は、平坦化処理が施された面に形成されている圧電素子。

IPC (10件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/29 ,  H01L 41/053 ,  H01L 41/332 ,  H01L 41/23 ,  H01L 41/047 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/08

FI (10件)：

H01L41/09 ,  H01L41/29 ,  H01L41/053 ,  H01L41/332 ,  H01L41/23 ,  H01L41/047 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/10 104Z ,  G02B26/08 E

Fターム (46件)：

2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045AB43 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H045BA24 ,  2H141MA12 ,  2H141MB24 ,  2H141MC09 ,  2H141MD13 ,  2H141MD16 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141ME22 ,  2H141ME25 ,  2H141MF08 ,  2H141MG04 ,  2H141MG06 ,  2H141MG07 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ12 ,  2H141MZ16 ,  2H141MZ18 ,  2H141MZ26 ,  3C081AA13 ,  3C081BA22 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA55 ,  3C081CA02 ,  3C081CA13 ,  3C081CA14 ,  3C081CA27 ,  3C081CA28 ,  3C081CA29 ,  3C081CA31 ,  3C081DA04 ,  3C081DA27 ,  3C081DA30 ,  3C081EA08 ,  3C081EA11