特許
J-GLOBAL ID:201703008099879601

加圧装置および加圧方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-089812
特許番号:特許第6181807号
出願日: 2016年04月27日
要約:
【課題】被加工物の温度をより短時間でより適切にコントロールできる加圧装置を提供する。 【解決手段】被加工物100が載置される載置台12と、前記載置台12に載置された被加工物100を上側から加圧する上型20と、予め加熱手段により加熱されている下型であって、前記上型20とともに前記載置台12を挟持することで、前記被加工物100を加圧しつつ加熱する加熱用下型50と、予め冷却手段により冷却されている下型であって、前記上型20とともに前記載置台12を挟持することで、前記被加工物100を加圧しつつ冷却する冷却用下型52と、前記型の駆動を制御する制御装置であって、前記被加工物100の加圧処理の進行状況に応じて、前記被加工物100の加圧に寄与する下型を、加熱用下型50または冷却用下型52に切り替える制御装置12と、を備える。 【選択図】図2
請求項(抜粋):
【請求項1】 被加工物が載置される載置台と、 前記載置台に載置された被加工物を上側から加圧する上型と、 予め加熱手段により加熱されている下型であって、前記上型とともに前記載置台を挟持することで、前記被加工物を加圧しつつ加熱する加熱用下型と、 予め冷却手段により冷却されている下型であって、前記上型とともに前記載置台を挟持することで、前記被加工物を加圧しつつ冷却する冷却用下型と、 前記上型および下型の駆動を制御する制御装置であって、前記被加工物の加圧処理の進行状況に応じて、前記被加工物の加圧に寄与する下型を、加熱用下型または冷却用下型に切り替える制御装置と、 を備える、ことを特徴とする加圧装置。
IPC (1件):
H01L 21/60 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/60 311 T
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 多層基板の製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2008-228876   出願人:株式会社デンソー

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