特許
J-GLOBAL ID:201703008237762745
ダイボンドダイシングシート
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-020817
公開番号(公開出願番号):特開2017-139409
出願日: 2016年02月05日
公開日(公表日): 2017年08月10日
要約:
【課題】 UV照射工程を必要とせず、パッケージ製造工程内の尤度を拡大するダイボンドダイシングシートを提供する。【解決手段】 剥離性基材の片面に、接着剤層と、前記接着剤層を覆う中間粘着剤層と、前記中間粘着剤層を覆い前記接着剤層と中間粘着剤層よりも一回り広く大きく、そして前記中間粘着剤層とは重なり合わない周縁部を有する粘着剤層と、前記粘着剤層に重なり合ってこれを保護する保護フィルムとを、この順に積層し、前記接着剤層と前記中間粘着剤層の間の剥離強度を5N/m以上、25N/m以下としたダイボンドダイシングシート。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
剥離性基材の片面に、接着剤層と、前記接着剤層を覆う中間粘着剤層と、前記中間粘着剤層を覆い前記接着剤層と中間粘着剤層よりも一回り広く大きく、そして前記中間粘着剤層とは重なり合わない周縁部を有する粘着剤層と、前記粘着剤層に重なり合ってこれを保護する保護フィルムとを、この順に積層し、前記接着剤層と前記中間粘着剤層の間の剥離強度を5N/m以上、25N/m以下としたダイボンドダイシングシート。
IPC (3件):
H01L 21/301
, C09J 7/02
, H01L 21/52
FI (3件):
H01L21/78 M
, C09J7/02 Z
, H01L21/52 E
Fターム (26件):
4J004AA10
, 4J004AA14
, 4J004CE01
, 4J004DB03
, 4J004EA01
, 4J004EA05
, 4J004FA05
, 4J004FA08
, 5F047AA11
, 5F047BA33
, 5F047BB19
, 5F063AA18
, 5F063AA35
, 5F063CA04
, 5F063DD01
, 5F063DD11
, 5F063DD15
, 5F063DD69
, 5F063DD85
, 5F063EE07
, 5F063EE13
, 5F063EE14
, 5F063EE15
, 5F063EE16
, 5F063EE31
, 5F063EE58
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