特許
J-GLOBAL ID：201703008287202570
スピンテーブルを用いた洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人 武和国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-181017
公開番号（公開出願番号）：特開2014-038959
特許番号：特許第6095295号
出願日： 2012年08月17日
公開日（公表日）： 2014年02月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 洗浄物で被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
一側縁に設けられ前記被洗浄物が設置される設置部を有し、周方向に回転可能なスピンテーブルと、
このスピンテーブル上に対向させて取り付けられ、このスピンテーブルの一側縁である第1洗浄ポイントに前記洗浄物を送る第1洗浄手段と、
前記スピンテーブル上に対向させて取り付けられ、前記第1洗浄手段とは異なる前記スピンテーブルの一側縁である第2洗浄ポイントに前記洗浄物とは異なる他の洗浄物を送る第2洗浄手段と、
前記設置部に設置された前記被洗浄物を前記第1洗浄ポイントおよび前記第2洗浄ポイントへ移動して位置決めする移動手段と、
前記スピンテーブルを周方向に回転させて、前記設置部に設置された前記被洗浄物上の前記洗浄物および前記他の洗浄物を吹き飛ばす回転手段と、を備えた
ことを特徴とする洗浄装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/304 648 Z
, H01L 21/304 643 D
審査官引用 (6件)
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特開昭60-005530
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洗浄システム
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-068984
出願人：シブヤマシナリー株式会社
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液処理装置および液処理方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-293815
出願人：東京エレクトロン株式会社
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