真空ポンプ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡邉勇 , 廣澤哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-134472
公開番号（公開出願番号）：特開2015-010484
特許番号：特許第6116401号
出願日： 2013年06月27日
公開日（公表日）： 2015年01月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】気体を吸引するための吸気ポートと、互いに対向して配置された一対のポンプロータと、前記一対のポンプロータが収容されるポンプハウジングと、前記ポンプハウジングに取り外し可能に取り付けられる排気ポートおよび閉塞部材と、前記ポンプハウジング内に溜まった液体を排出する排液ポートとを備え、前記ポンプハウジングは、前記ポンプロータによって圧縮された前記気体を移送するための気体流路と、該気体流路に連通する複数の連通孔を有し、前記排気ポートは前記複数の連通孔のうちのいずれか一つに選択的に接続可能に構成され、他の連通孔は前記閉塞部材によって閉塞され、前記排液ポートは前記排気ポートに取り付けられていることを特徴とする真空ポンプ装置。

IPC (2件)：