特許
J-GLOBAL ID：201703008365002672
フォトレジスト組成物
発明者：
,
,
,
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
杉村 憲司
, 池田 浩
, 田浦 弘達
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-547094
特許番号：特許第6154398号
出願日： 2012年12月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (a)i)不飽和カルボン酸またはその無水物;ii)エポキシ基含有不飽和化合物;およびiii)オレフィン系不飽和化合物を重合して製造した、重量平均分子量が5000〜7000であるアクリル系共重合体10〜30重量%;
(b)末端基にイソシアネート基(-NCO)を含有するシランカップリング剤0.1〜2重量%;
(c)感光剤1〜15重量%;および
(d)残量の溶媒を含むことを特徴とするフォトレジスト組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/075 ( 200 6.01)
, G03F 7/09 ( 200 6.01)
, G03F 7/038 ( 200 6.01)
, G03F 7/023 ( 200 6.01)
, C08F 212/08 ( 200 6.01)
G03F 7/004 501
, G03F 7/075 501
, G03F 7/09 501
, G03F 7/038 503
, G03F 7/023 501
, C08F 212/08
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
