特許

J-GLOBAL ID：201703008473052708

静電チャック用セラミック組成物、これを用いた静電チャック

発明者： チョー、ホ スン ,  中澤 秀司 ,  ウー、セオク キョーン
出願人/特許権者： サムソン エレクトロ-メカニックス カンパニーリミテッド.
代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-016678
公開番号（公開出願番号）：特開2017-031039
出願日： 2016年01月29日
公開日（公表日）： 2017年02月09日
要約：

【課題】静電チャック用セラミック組成物、これを用いた静電チャックに関する。【解決手段】静電チャックは、第1セラミック粉末及び第1導電性粉末を含むセラミック組成物で形成された第1セラミック層10を含む。だい1セラミック層10は低い比抵抗を有することができ、これにより、静電チャックの静電吸着力を向上させることができる。第1セラミック層10と、第1導電性粉末で作製した電極20、その上に第2セラミック粉末、第2導電性粉末、及びガラスを含む第2セラミック層30で構成される静電チャックを図1に示す。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

主成分であるセラミック粉末と、 導電性粉末と、を含む、静電チャック用セラミック組成物。

IPC (3件)：

C04B 35/111 ,  H01L 21/683 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

C04B35/10 D ,  H01L21/68 R ,  H02N13/00 D

Fターム (11件)：

4G030AA36 ,  4G030AA61 ,  4G030BA12 ,  4G030GA04 ,  5F131AA02 ,  5F131CA68 ,  5F131EB14 ,  5F131EB18 ,  5F131EB23 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79