特許

J-GLOBAL ID：201703008497154188

モリブデンアリル錯体及び薄膜堆積におけるその使用

発明者： オデドラ,ラジェシュ ,  ガーラット,ショーン ,  サリー,マーク ,  カンジョリア,ラビ
出願人/特許権者： シグマ-アルドリッチ・カンパニー、エルエルシー
代理人 (5件)： 小野 新次郎 ,  小林 泰 ,  竹内 茂雄 ,  山本 修 ,  中田 尚志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-554752
特許番号：特許第6209168号
出願日： 2013年01月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 式I’の構造に対応する有機金属錯体: 式中、R2はアルキルであり; R4は存在する場合は独立してアルキル、アルケニル及びアルキニルからなる群から選択され; yは0又は1であり; nは1〜4である。

IPC (3件)：

C07F 17/00 ( 200 6.01) ,  C23C 16/18 ( 200 6.01) ,  C07F 11/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C07F 17/00 CSP ,  C23C 16/18 ,  C07F 11/00 B

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Journal of Organometallic Chemistry, 1988, vol. 346, pp. 35-58